无功功率老化测试系统软件采用WINDOWS界面，全中文菜单，用户可通过此软件对整机系统进行各项试验操作。软件界面包含监视主页、通道设置、数据管理、器件管理、系统设置和驱动板校准界面六大模块。软件包括试验开启、试验关闭、试验数据查看、试验数据导出、失效统计等功能。

该项目为基于c#语言开发的扫频激光测厚软件，软件依托于Windows桌面应用程序，使用了多线程、TCP通信、高速数据采集和图表展示等技术，实现了在高速扫频激光照射下的晶圆测厚功能,软件功能完善，目前已稳定应用于企业生产中。