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LotTracking(批次追溯):系统的“灵魂”。记录晶圆批次(Lot)在工厂内的所有足迹,包括所在工序、操作员、加工时间及父子批次拆分合并历史。Workflow/Routing(工艺路线):定义生产的“地图”。通过可视化建模定义数百道复杂的加工顺序,确保批次严格按既定路线流动,防止跳序或误操作。
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