对芯片生产项目中晶圆片的缺陷模式进行分类与识别,数据规模为10w+。
使用滤波器(中值、模式等)对图像进行降噪处理,使用翻转旋转等操作进行图像数据加强。
使用传统机器学习方法如logistic regression等对晶圆片缺陷进行分类。
使用深度学习神经网络方法如VGGNet、普通深度卷积神经网络(CNN)、引入空洞卷积的CNN、全卷积网络(FCN)等,训练不同模型,不断调整参数优化,进行分类预测。
利用多种神经网络预测结果进行网络投票,得到准确率较高的结果(99.6%)。
下方出售源码。
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