真空泵设备是半导体腔室的核心辅机设备，广泛应用于晶圆加工、薄膜沉积、刻蚀等半导体制造工艺环节，用于维持腔室所需的真空度与压力稳定性。由于半导体工艺对腔室压力波动极为敏感，真空泵的运行稳定性直接影响晶圆加工质量和产品良率。振动监测是评估真空泵运行状态的有效技术手段，通过在泵体关键测点（如轴承座对应位置、进气口侧等）安装振动传感器采集运行中的振动信号，并对采集到的信号进行诊断分析，可及时发现轴承磨损、转子不平衡、叶片损伤等典型机械故障。
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真空泵振动监测系统产品系统
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作品详情
行业场景
功能介绍
真空泵振动监测系统用来监测真空泵运行状态。系统功能包括实时数据列表、实时数据曲线、实时数据频谱图、历史数据列表、历史数据曲线、真空泵档案管理等功能界面，支持报表打印、图谱打印、诊断分析。
项目实现
本人在项目负责系统的需求搜集、确认、设计、开发和部署。
1、开发语言：C#
2、系统包括数据采集服务（控制台程序）、Web后端服务和客户端软件（.NET 8 Winform）
3、数据库：PostgreSql+timescaldb
4、通讯：tcp/ip
5、支持平台：Linux/Windows
示例图片
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