该项目主要是针对晶圆半导体在前道和后道工序进行后,是否对晶圆造成缺陷,进行测量和检测。
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该项目主要是针对晶圆半导体在前道和后道工序进行后,是否对晶圆造成缺陷,进行测量和检测。
该项目旨在对晶圆半导体进行成像,通过对图像中特定位置的线,圆,夹角进行检测,得出尺寸和角度的信息,据此判断产品测量项是否合格;
通过传统算法结合深度学习,定位产品区域,并进行语义分割,计算缺陷Blob信息,据此判断产品是否合格。
1. 负责传统算法实现,深度学习目标检测的训练,使用libtorch在C++项目中实现目标检测推理工作,将算法工具封装为dll库,为软件工程师提供API接口
2. 优化现有圆卡尺测量工具,使用双线性插值法,结合二次曲线拟合,进行亚像素的边缘点检测,并使用边缘点进行RanSac圆拟合,圆半径侧量误差在0.2um以内;
优化现有线卡尺检测工具,使用旋转矩形,再沿矩形方向进行梯度最大值的计算;
使用YOLO11为backbone的PRNet网络模型(关闭DFL损失)进行缺陷语义分割,取得了比UNet网络和DeepLabV3Plus网络更好的分割效果。




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