针对直拉单晶硅工艺中硅锭直径难以稳定控制，且该工艺控制需求存在工艺参数繁多、传热传质的物理过程复杂等特点，传统的控制方法很难达到令人满意的效果。
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神经网路处理工业传感数据预测生产结果产品系统
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作品详情
行业场景
功能介绍
对此需求搭建了神经网络模型，用fab厂提供的工艺参数与传感器采集数据作为数据集，搭建神经网络预测在某工艺参数与实时传感参数下，会长出的晶体直径为多少，在具备足够的实时预测精后，应用于工业晶棒生产以获得具有稳定直径的晶棒
项目实现
首先对数据集进行预处理，取出等经生长段有效数据并进行滑动窗口处理。
搭建LSTM模型以应对晶体生长的时间上的连续性和时滞性（当前时刻的参数需在一段时间后起作用），对每段窗口数据进行单独训练，最后在测试集验证效果
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