该传感器主要服务于对精度和效率要求极高的高端制造领域,包括但不限于:
1、半导体制造:晶圆检测、芯片尺寸与粗糙度测量、厚度一致性检测等。
2、3C消费电子:精密零部件组装、微小器件尺寸测量、屏幕玻璃检测等。
3、新能源电池:锂电池生产中的辊跳动、电芯厚度及平面度检测等。
4、精密加工与玻璃工业:光学镜头、精密五金、玻璃制品的轮廓与缺陷检测。
5、新兴领域:科研、文物保护与三维重建等领域也有应用。
传统点光谱共焦传感器单次采集仅获单点信息,在大面积、复杂三维形貌检测中效率低下,且数据处理与三维重构尤为繁琐。随着半导体、消费电子、新能源等高端制造对表面形貌、尺寸及粗糙度的检测精度与效率要求跃升,能够一次获取线上全段数据的“线”光谱共焦技术应运而生。此外,该技术从根本上解决了激光三角法对透明(玻璃)、高反光(镜面)、强吸光(黑色橡胶)等棘手材质的测量难题,因其对物体颜色、光洁度及材料特性不敏感,材质适应性极强。目前,该传感器已在晶圆检测、精密零部件组装、锂电池平面度测量及光学轮廓检测等场景中实现核心应用。
线光谱共聚焦位移传感器的功能可分为四个层面。
一、硬件系统
光源模块产生覆盖可见光波段的宽光谱白光,通过光纤传输至色散镜头。色散镜头利用特殊透镜将不同波长的光在光轴上聚焦于不同位置,形成一把波长编码的“光学尺”。反射光沿光路返回至光谱仪,同轴式结构让入射光与反射光路径一致,无测量盲区。光谱信号处理模块由FPGA和ARM组成,并行解析整条线上数千个反射点的光谱信号,将波长信息解码为距离数据,FPGA实现微秒级响应,ARM负责系统控制与通信。传感器探头提供不同规格,线长从2.3mm到18.5mm,工作距离从9.3mm到61.32mm,量程从0.7mm到6mm。
二、核心测量
单次曝光即可获取一条线上2048个点的三维坐标,区别于点光谱共焦逐点扫描的低效模式。Z轴重复精度最高0.1μm,线性精度±1.25μm,X方向最小点间隔1.1μm。最大扫描速率35000线/秒,全量程下5000-6500Hz,满足流水线在线全检节拍。同轴式支持±45°测量角度,斜面、弧面、深孔等复杂形貌均可测量。一次扫描可同时构建透明物体多个层面的2D和3D数据,例如显示屏玻璃的表层与内部各层信息。对颜色、光洁度、材料特性不敏感,金属、陶瓷、镜面、玻璃、薄膜、黑色橡胶、液体等材质均可稳定测量,反射光光强不影响结果。
三、数据输出
一次扫描同时输出3D点云图、2D轮廓图、高清深度图、高清灰度图。支持位移测量、单边测厚、段差测量等多种模式,适用于晶圆厚度一致性检测、手机中框断差检测等场景。通过轮廓和形貌分析实现崩边、裂缝、凹陷、凸起等外观缺陷自动识别。
四、软件与集成
上位机软件实时显示轮廓曲线和测量结果,可编程设置扫描曲线,提供特征点识别和测量值修正等算法。支持外部触发与编码器分频触发,可与运动平台、流水线同步工作。提供数字量输入输出,模拟量输出支持-10V至+10V范围。
• 开展线光谱共聚焦位移传感器竞品分析,为技术路线和产品定位提供依据。
• 使用Zemax完成线共焦成像镜头的光学建模与优化,围绕物面与像面的共轭成像关系进行物像倍率设计,使物面条纹像与像面探测器满足设定成像比例与尺寸匹配要求。
• 基于Zemax对色散物镜进行光学设计与性能评估,重点平衡轴向色散范围、轴向色散线性度、像质与能量利用率等关键指标,提升系统测量范围与分辨能力。
• 参与光谱仪光路方案设计与评审,围绕准直、色散与聚焦成像链路,协同优化色散元件、聚焦镜组及探测面上的光谱映射关系,支撑谱线分离与波长解码精度。
• 使用Zemax对镜头及光谱仪方案开展像差分析与成像质量评估,结合点列图、RMS光斑半径等指标验证设计可行性,并为后续工程实现提供依据。
• 设计并开发光条中心寻峰算法,完成算法由Python向C++的工程化转化,提升算法部署效率与可用性。
• 主导三维点云算法开发,完成异常点云数据剔除及基于点云聚类的缺失补全方案设计与实现。
• 制定上位机软件用户操作业务流程图,并梳理接口交互逻辑,提升系统整体协同性与可用性。
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